Linie de pulverizare cu magnetron în linie cu oglindă din aluminiu
Scurta descriere:
Linia de pulverizare cu magnetron în linie de oglindă din aluminiu este proiectată pentru un randament ridicat în scopul producției de oglinzi de sticlă.Pentru a acoperi sticlă mai mare și pentru a avea grijă de panoul de sticlă fragil, în special pentru foile de dimensiuni mari, de obicei facem linie de pulverizare de tip orizontal.Este o linie continuă de acoperire cu magnetron, cu camera de pompare brută din față și din spate, iar după camera de tranziție, înainte și după camera de pompare fină, o cameră tampon, cameră de placare colorată.
Proiectare țintă: catozi cilindrici de pulverizare cu magnetron sau/și catozi plani.
Sursă de alimentare: sursă de alimentare cu pulverizare cu magnetron DC sau MF de mare putere
Sistem de antrenare: acţionare cu role, frecvenţă reglabilă, sistem de deschidere a uşii camerei tip inducţie.
Sistem de vid: pompă de difuzie (sau pompă turbo moleculară) + pompă roots + pompă mecanică
Linia de pulverizare cu magnetron în linie cu oglindă din aluminiu este de obicei prevăzută cu mai multe camere de vid pentru a completa acoperirea cu vid pe foile de sticlă.
Caracteristici principale:
1.Dimensiunea maximă a stratului de sticlă: 2440x3660mm sau personalizat
2. Sunt disponibile camere multi-vacuum și design cu mai multe camere de pulverizare
3. Linia de control magnetic orizontal are o structură cu un singur capăt și cu două capete;Curățarea dublă a sticlei, acoperirea, detectarea, vopsirea, uscarea, răcirea pot fi terminate toate odată
4. Linia de acoperire prin pulverizare utilizează PLC pentru controlul întregului proces și este echipată cu ecran color pentru a afișa datele procesului de acoperire
Strat de acoperiri: titan, crom, oțel inoxidabil, aluminiu, argint, cupru etc.
Compus: TiN, TiO2 etc.
Grosimea stratului: 5-100 nm
Transmisie: 8-40% la lungimi de undă de 380-780 nm
Temperatura de depunere: temperatura camerei
Presiune finală după 8 ore de pompare:
Camera de blocare de intrare și camera de blocare cu vid: 5×10-1 Pa sau mai jos
Camera tampon 1: 3×10-3 Pa sau mai jos
Camera de pulverizare: 2×10-3 Pa sau mai jos
Camera tampon 2: 3×10-3 Pa sau mai jos
Camera de blocare de ieșire și camera de blocare cu vid: 5×10-1 Pa sau mai jos