Tehnica de pulverizare cu magnetron în vid este utilizarea suprafeței electrodului bipolar, feminin, cu câmpul magnetic al electronului în deriva suprafeței catodului, prin setarea câmpului electric de suprafață țintă perpendicular pe câmpul magnetic, electronul crește cursa, crește rata de ionizare a gazului, în timp ce particulele de înaltă energie gazează și pierd energie după ciocnire și astfel temperatura substratului scade, acoperirea completă pe un material non-rezistent la temperatură.